隨著半導(dǎo)體技術(shù)的發(fā)展，對(duì)生產(chǎn)所需的超純水水質(zhì)要求越來(lái)越高，尤其降低TOC的難度較大，另外整套水處理系統(tǒng)需要持久、穩(wěn)定地制備出符合水質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)的超純水。項(xiàng)目最終采用反滲透作預(yù)處理，再通過(guò)去離子(EDI)裝置進(jìn)一步處理，最終實(shí)現(xiàn)經(jīng)濟(jì)、高效、穩(wěn)定、環(huán)保、節(jié)能、易維護(hù)的目的。