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電子行業(yè)超純水解決方案
SOLUTIONS FOR ELECTRONIC?ULTRA-PURE?WATER INDUSTRY
SOLUTIONS FOR ELECTRONIC?
ULTRA-PURE?
WATER INDUSTRY
電子芯片、半導(dǎo)體的制造過程十分復(fù)雜，關(guān)鍵的步驟如沉積、光刻膠涂覆、刻蝕、離子注入和封裝都離不開超純水，超純水具有絕緣性以及不含雜質(zhì)，保障了產(chǎn)品的合格率。超純水系統(tǒng)是工業(yè)水處理系統(tǒng)中設(shè)計(jì)施工最為復(fù)雜，包括了眾多的子系統(tǒng)，功能單元及配套系統(tǒng)，可將其細(xì)分為預(yù)處理、除鹽水、純水、循環(huán)拋光及回收五大子系統(tǒng)。
中國(guó)國(guó)家電子超純水標(biāo)準(zhǔn)把電子級(jí)水質(zhì)分為四個(gè)標(biāo)準(zhǔn)，以電阻率表示分別為EW-Ⅰ18MΩ.cm(25℃),(95%時(shí)間)不低于17MΩ.cm(25℃)；EW-Ⅱ15MΩ.cm(25℃)，(95%時(shí)間)不低于12MΩ.cm(25℃)；EW-Ⅲ12MΩ.cm(25℃)；EW-Ⅳ0.5Ω.cm(25℃)。
中國(guó)國(guó)家電子超純水標(biāo)準(zhǔn)把電子級(jí)水質(zhì)分為四個(gè)標(biāo)準(zhǔn)，
單/多晶硅、半導(dǎo)體晶片切割制造、半導(dǎo)體芯片、半導(dǎo)體封裝、引線柜架、集成電路、?液晶顯示器、顯像管、LED芯片、導(dǎo)電玻璃、拋光片、光學(xué)元件、光通信、電池（蓄電池）、線路板、電容器、超凈化學(xué)品等
系統(tǒng)由四部分組成：預(yù)處理模塊、反滲透模塊、EDI模塊、精處理模塊。
預(yù)處理模塊包括砂濾、多介質(zhì)過濾、軟化、加氯、調(diào)節(jié)PH、活性碳過濾、脫氣等。過濾可除去1-20微米大小的顆粒，軟化和調(diào)節(jié)PH可防止反滲透膜結(jié)垢，加氯是殺菌?；钚蕴渴浅ビ袡C(jī)物和自由氯，脫氣是消除水中的CO2等。
反滲透模塊使溶劑從濃溶液一側(cè)通過半透膜向稀溶液一側(cè)方向滲透，脫鹽可達(dá)98%，并能去除99%的細(xì)菌顆粒和溶解在水中的有機(jī)物。
EDI模塊是在外加直流電場(chǎng)的作用下利用陽離子和陰離子交換膜對(duì)離子選擇性過濾，脫鹽率可達(dá)95%以上。
精處理模塊是樹脂上可交換的陰離子被置換到水中（例如OH離子），并與水中的H離子結(jié)合成水。
半導(dǎo)體行業(yè)超純水工藝流程
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